用途

    本機(jī)適用硅片、石英晶體、寶石片、陶瓷片、玻璃及其它硬脆材料的雙面精密研磨加工。

用途

     供各種半導(dǎo)體材料、石英晶體、陶瓷等硬度高、脆性大的材料進(jìn)行雙面研磨。

主要技術(shù)規(guī)格

1、工件較大尺寸:（1）單片Φ160mm（2）多片Φ100mm

2、游星輪：齒數(shù)108  模數(shù)2.25mm

3、工件較小厚度：0.3mm

4、每盤游星輪個數(shù)：5個

5、研磨盤尺寸：Φ670mm×Φ270mm×30mm

6、每盤研磨工件數(shù):（1）Φ50mm  40片

                  （2）Φ75mm  25片

                  （3）Φ100mm  15片

7、下研磨盤轉(zhuǎn)速：0～60rpm

8、上研磨盤轉(zhuǎn)速（反向）0～21rpm

9、中心齒輪轉(zhuǎn)速：0～26rpm

10、內(nèi)齒輪轉(zhuǎn)速：0～18rpm

11、上研磨盤對工件壓力：0～340kg

12、電源：AC380V，50Hz

13、主電機(jī)：Z2-51型，5.5kW，1500rpm

14、油泵電機(jī)：A02-8014型，0.55kW，1400rpm

15、加砂電機(jī)：A02-7124型，0.37kW，1400rpm

16、外形尺寸：主機(jī) 1900mm×1280mm×2080mm

17、砂泵（長×寬）：500mm×373mm